Наименование: Спектральный эллипсометрический комплекс ЭЛЛИПС-1891 САГ
Назначение: измерение спектральных зависимостей оптических параметров поверхностных структур, определение оптических и структурных свойств материалов и толщин тонкопленочных слоев.
Характеристики:
- принцип работы основан на анализе амплитудных и фазовых изменений световой волны при ее взаимодействии с исследуемым объектом;
- спектральный диапазон — 350…1100 нм.
Производитель: НПК «Центр нанотехнологий», Россия
Год выпуска: 2008.