Наименование: Оптический интерферометр-профилометр New-View 5010
Назначение: предназначен для измерения характеристик топологии поверхности.
Характеристики:
- вертикальное разрешение от 0.1 нм;
- горизонтальное разрешение от 0.5 мкм;
- max увеличение x4000.
Производитель: Zygo (США).
Год выпуска: 2001